Вакуумная научно-исследовательская напылительная установка с магнетронным
разрядом (ОТДЕЛ СИСТЕМ ЭКОЛОГИЧЕСКОГО МОНИТОРИНГА)
Предназначена для исследования нестандартных возможностей в
магнетронном напылении, в частности напыление пленок ферромагнитных
материалов
нанометровой толщины.